金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助（PA-MOCVD）,該系統具有5個鼓泡裝置（各帶獨立的冷卻槽）、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵（5 x 10-7Torr極限真空）、PC全自動控制。

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2023-11-13
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概述：

NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10^-7Torr極限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。

目前，這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統，該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備應用：

Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備特點：

獨立系統
14”不銹鋼立方體腔體
1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
加熱的氣體管路
RF等離子源，自動調諧
淋浴頭氣體分布
1100°C的旋轉樣品臺
N2沖洗
手動放置晶圓片

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